ダイシング・ブレードの紹介
ダイシング・ブレードとは半導体基盤等を短冊状に切断するために用いられる厚み20μm〜500μm程度の薄刃砥石(ダイヤモンド)です。
ユーザーのニーズ、すなわち加工能率重視、切断品質重視、溝形状付与等に対応するブレード設計を致します。
開発品は多孔質セラミックスボンドタイプのダイヤモンドブレード
課題は導電性付与と100μm程度の薄肉での焼成(現状では300μm程度)