精密切断技術

ダイシング・ブレードの紹介

解説

ダイシング・ブレードとは半導体基盤等を短冊状に切断するために用いられる厚み20μm〜500μm程度の薄刃砥石(ダイヤモンド)です。

ユーザーのニーズ、すなわち加工能率重視、切断品質重視、溝形状付与等に対応するブレード設計を致します。

ダイシング・ブレードの説明図

高性能切断ブレードへの要求

サファイア加工に求められること
切れ味に優れていること
蛇行しないこと
チッピング欠けがないこと
切れ味低下が少ないこと
誘電性があること(ゼロ点調整)

開発品は多孔質セラミックスボンドタイプのダイヤモンドブレード

課題は導電性付与と100μm程度の薄肉での焼成(現状では300μm程度)

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