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多孔質セラミックス真空チャック
アルミ台盤タイプ(□120mm)
オール多孔質タイプ(φ100mm)
特殊形状対応例
オール多孔質タイプ(φ8"用)
ステンレス台盤タイプ(φ2"用)
オール多孔質タイプ(φ12"用)
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