다공질 세라믹으로 된 진공척입니다.
다공질 세라믹은 내부에 많은 기공을 가진 세라믹을 말합니다. 당사 제품의 기공률은 평균 40%입니다. 세라믹 전체의 40%가 틈이라는 것입니다. 과장해서 말하면 경석 같은 것입니다.
진공척의 원리는 워크와 척부의 접촉면을 진공으로 함으로써 워크가 대기 압력에 눌려 척 면에 워크가 흡착되게 됩니다. 즉 워크의 상부와 하부의 기압 차를 이용하고 있습니다. 접착제 등을 사용하지 않고 공기만으로 워크를 척 면에 흡착시킬 수 있는 것입니다.
주로 어떤 용도로 쓰이고 있나요?
지금까지는 태양전지, LED반도체, 액정, 프린트 기판, 최근에는 유기 EL등의 다양한 워크를 가공하기 위한 기계에 고정(흡착)하는 목적으로 사용되었습니다.
재작년쯤부터는 흡착 이외의 용도가 확대되고 있습니다. 부압을 가하면 이 세라믹 위에 올려둔 워크가 흡착(척)이 되며, 반대로 정압을 가하면 워크가 뜹니다(부상).
최근에는 정‧부압을 바꾸는 것으로 부상시켜 반송, 정지, 회전시킬 수 있게 되었습니다.
비접촉 부상 반송 장치의 개발에도 성공했습니다. 이에 따라 워크에 닿지 않게 반송할 수 있도록 되어 코스트 삭감 효과가 예상되고 있습니다.
에어로픽스에 흡착, 부상 이외의 용도는 있나요?
습식환경에도 사용 가능합니다.
평형상, 롤형상, 어느 쪽이라도 대응 가능합니다.
어떤 업계에서 주로 채용되고 있나요?
<공작기계 업계>
평면 연삭기, 머시닝센터, 랩핑 머신 등의 워크 고정 지그
<하이테크 업계>
FPD, OLED, 반도체, 프린트 기판, 전자부품, 인쇄기 등의 제조 장치 테이블
<인프라 업계>
자동차용 차재 필름, 항공기용 CFRP 성형 등의 제조 장치 테이블
구체적으로는 어떤 장치에 도입되고 있나요?
<FPD, OLED계>
유리 기판 머티어리얼 핸들링 장치,유리 기판 부상 반송 장치,유리판 스크라이브 장치,슬릿 코터,러빙 장치,필름 접합 장치,유리 기판 면취기,스핀 세척기,컬러 필터(CF)노광 장치,잉크젯 인쇄기,레이저 어닐 장치,레이저 컷 장치,AOI / 외관검사 장치,프로버 점등 검사 장치,CF연마 장치
<반도체계>
외관 검사기,현미경용 스테이지,다이싱 머신,백그라인딩 머신,면취기
<전자부품계>
사파이어 기판 연마기,그린 시트 접합기
<프린트 기판계>
검사기,AOI
<공작기계계>
평면 연삭기,회전 평면 연삭기
에어를 이용한 흡착의 장점은 무엇입니까?
각종 세라믹, 알루미늄, 수지, 종이, 나무 등의 비자성재를 쉽게 고정할 수 있습니다.
또 워크 면이 진공척에 완전히 흡착하기 때문에 주름 발생을 억제할 수 있습니다.
클램프에 의한 워크의 왜곡이 발생하지 않기 때문에 가공 정도가 좋아집니다.
워크는 필름 같은 얇은 것이라도 괜찮나요?
두께 5μm 필름의 흡착 실적이 있습니다. 흡착 자국도 남기지 않고 쾌적하게 사용하고 계십니다.
정압 및 부압을 잘 제어함으로써, 박막 워크의 자세를 안정시킬 수 있습니다. 또 워크를 부상시키고, 경미한 힘을 가함으로써 진공척 위를 움직일 수 있게 되었습니다. 이처럼 부상으로 반송을 하게 함으로써, 매우 얇은 기판 등으로 대표되는 워크의 오염방지 과제가 해결되었습니다.
에어로픽스의 재질은 뭔가요?
알루미나계 원료를 사용하고 있습니다. 고객님의 요망이 강하기 때문에 특수원료를 첨가하여 레귤러품은 흑색으로 하고 있습니다.
단, 흰색으로 제작도 가능합니다. 첨가물의 내용은 기업 비밀입니다.
알루미나는 알루미늄과 비교해서 무게는 어떤가요?
일반적으로 알루미늄은 밀도가 2.7g/cm3, 그에 비해 다공질 알루미나는 1.6-1.8g/cm3정도, 또 레귤러품(흑색)은 2.48g/cm3 정도의 비중이므로 알루미늄보다 가볍습니다.
에어로픽스에는 어떤 형상‧크기가 있나요?
형상은 크게 2종류입니다. 평면 타입과 롤 타입입니다.
평면 타입의 최대 제작 실적은 2,500mm× 2,500mm이며, 롤 타입의 최대 제작 실적은 지름이 φ 400mm, 길이가 2,300 mm입니다.
포러스 세라믹이라고 하는데 기공률은 어느 정도인가요?
평균 기공률은 약 40%입니다. 타사의 진공척과 비교해도 높은 기공률입니다. 기공률이 클수록 흡착력은 높아집니다.
평면 정도는 어느 정도인가요?
200mm×200mm의 척으로 20μm 이하입니다. 요망에 따라 밀도를 더 높이는 것도 가능합니다.
평면 타입과 롤 타입의 차이점은 무엇입니까?
롤 타입은 평면 타입의 진화판으로, 필름 소재용 진공척으로서 개발한 것입니다. 소재의 사양은 둘 다 같습니다. 흡착, 부상, 반송용으로서 효과를 발휘합니다. 개발 당초에는 철심 내부에 칸막이를 만들어 결합 각도를 결정하는 사양이었지만, 부분 흡착의 특성을 살려 어느 부분에서도 흡착할 수 있는 사양으로 변경했습니다. 특징은 다양한 필름 소재를 석션 마크 없이 흡착이 되는 것, 또 필름 소재를 롤에 접촉시키지 않고 반송이 가능합니다.
종이 인쇄, 유기 EL 필름 인쇄, 도공, 지공, 금속박 등의 제조 장치, 산업 기계에 이용되고 있습니다. 응용 가능합니다.
기공 지름을 바꿀 수 있나요?
레귤러품의 기공 지름은 2μm입니다. 그 밖에 5μm, 15μm 타입의 제작도 가능합니다. 요망에 따라 그 이외도 자유롭게 조정할 수 있지만, 사용 목적을 충분히 협의 후 대응하고 있습니다.
기공 지름이 커지면 무엇이 바뀌나요?
유속이 바뀝니다. 기공 지름이 커질수록 속도가 올라갑니다. 다소 변형된(뒤집어진) 필름 등을 흡착시키기 위해서는 유속이 빠른 편이 유리합니다.
2μm의 기공 지름 제작은 어려운 건가요?
타사는 기공 지름이 10μm 정도가 아닐까 생각합니다. 작은 사이즈(~□100mm)이면 제작 가능할 거라 생각합니다. 하지만 큰 사이즈(□500mm~)가 되면 제작이 어려워집니다. 특히 균일하게 2μm의 기공 지름이 존재하는 것을 제작하는 것은 어렵습니다.
일반 진공척과 에어로픽스는 어떻게 다른가요?
에어로픽스와 일반적인 진공척과의 큰 차이는 아래의 5가지입니다.
① 대전한 워크의 제전이 가능하다.(표면저항값을 조정할 수 있다)
② 반사율을 5% 이하로 조정 가능하다.
③ 부분 흡착이 가능(기존의 진공척은 척 전면에서의 흡착밖에 할 수 없었습니다. 이 에어로픽스는 워크 형상에 맞춘 것을 준비할 필요가 없습니다)
④ 필름 등, 민감한 박막 워크에 적합하다.(그 동안의 진공척은 박막 워크가 표면의 구멍 홈에 빨려 들어가면서 변형과 휨, 부작용이 발생하고 있었습니다)
⑤ 비접촉 부상 반송이 가능하다.
어째서 부분 흡착이 가능한 건가요?
기공 지름이 포인트입니다. 2μm라는 초미세 기공 지름에 대해서 독자적인 진공 배기 방식을 사용함으로써 부분 흡착이 가능하게 됩니다. 흡착력은 진공압을 올리는 것으로 조정 가능합니다.
독자적인 진공 배기 방식이란 무엇입니까?
유량과 진공도에 따라 흡착력은 달라집니다.
진공 펌프, 이젝터와 접속하는 배관 지름‧배관 길이, 펌프의 종류를 고객님의 사용 용도에 맞추어 제안합니다.
에어로픽스에는 먼지가 쌓여 막히지 않나요?
거의 막히지 않습니다. 기공 지름이 작기 때문에 기공 지름보다 작은 먼지라면 막힐 수도 있지만, 2μm 이하의 작은 먼지는 클린룸 내에서도 별로 없습니다. 지금까지 먼지가 막혀서 흡착력이 떨어졌다는 실적은 없습니다. 또 정압을 조금 가함으로써 먼지를 날려버리고 시판의 먼지 제거 롤러로 표면의 먼지를 떼어내는 등의 관리로 충분합니다.