태양 전지, LED, 반도체, 액정, 유기 EL, 프린트 기판… 극소•고정세 기술의 향상, 고도화에 따라 보다 고정도에서 고성능을 가진 진공척에 대한 요구가 높아지고 있습니다.
나노템이 개발한 에어로픽스는 독자적인 세라믹 소결 기술로 기존의 스루홀 타입 진공척의 과제를 해결하는 완전히 새로운 진공척입니다!
초박막 기판 등 워크의 오염방지 과제를 해결!
정전기를 대전•방전하지 않고 제전하므로 「이오나이저」 등의 추가 설비도 불필요. 정밀제품 워크에도 안심하고 사용할 수 있습니다.
각종 워크 사이즈가 이 한 대로!
웻, 드라이 환경, 다양한 워크 사이즈에 대응.
워크별로 형식이나 크기를 갖출 필요 없어서 코스트 절감과 작업 효율 향상을 실현합니다.
비접촉 부상 반송을 실현!
워크는 부상 유닛에서 뜨면서 동시에 경미한 힘으로 흡착판 위를 자유자재로 움직일 수 있습니다.
이것은 정압과 부압 각각의 에어 공급과 진공 흡착을 컨트롤하는 나노템의 고도의 기술입니다.
필름 등 민감한 박막 워크에 최적!
알루미늄, 스테인리스 등 기존형 진공척의 과제, 변형 및 휨•일그러짐•끝단의 말림을 해소.
마이크론 단위 제작의 초미세 기공과 독자적인 진공 배기 방식에 따라 민감한 박막 워크에도 안심하고 사용할 수 있습니다.
석션 롤로!
웻, 드라이 환경, 다양한 워크 사이즈에 대응.
워크별로 형식이나 크기를 갖출 필요 없이 코스트 절감과 작업 효율 향상을 실현합니다.
간편&코스트 다운!
거치형 「톱 플레이트」는 현재 사용하시는 진공척 위에 올려 놓기만 하면 성능•기능을 발휘합니다.
체결할 필요는 없습니다.
에어로픽스는 다공질 세라믹으로 만들어진 진공척입니다.
주제와 조제의 공정 반응 컨트롤에 의한 나노템의 독자적인 세라믹 소결 기술로 기존에 없던 2μm의 기공을 균일하게 생성, 기공률 40%, 경량과 강도의 양립을 실현했습니다.
드라이 환경은 물론 웻 환경, 150℃까지의 고온 환경에서도 사용할 수 있습니다.
에어로픽스는 흡착면의 일부만 커버하지 않는 정밀 부품 등의 워크에서도 단단히 고정할 수 있는 "부분 흡착"을 실현했습니다.
이것은 알루미나와 혼합하는 나노템의 독자적인 재료 레시피와 소결 기술로 만들어 낸 2μm의 기공이 만든 기술입니다.
이제 워크에 따라 척을 교환할 필요가 없습니다.
에어로픽스는 기공 지름이 미세하고 균일하기 때문에 워크의 변형을 방지할 수 있어 분진이 막혀서 흡인력이 떨어지는 일도 없습니다.
또 제조 공정에서 완전 소결하기 때문에 내부로부터 분진 발생 없이 사용 환경에 영향을 주지 않고 정전기 발생도 방지합니다.
고객님의 요망에 맞추어 다양한 크기•형상으로 제작할 수 있습니다.
・평면 타입
・롤 타입
・G8 사이즈에도 대응
・어떤 형상도 OK
| 【사양】 흑색 2μm 레귤러 타입 | |
|---|---|
| 색 | 흑색 |
| 기공지름(μm) | 2 |
| 평면평행도(μm) | 목표 20, 커밋 30(□500mm인 경우) |
| 투과유량(L/min) | 2이하(부압 측정 시) |
| 밀도(g/cm3) | 2.5 ～ 2.7 |
| 표면저항(Ω/sq) | 106 ～ 109 |
| 반사율(%) | 5~6(옵션: 3) |
| 경도(HRH스케일) | 90 |
| 기공률(%) | 40 |
| 굽힘 강도(MPa) | 50 |
| 영률(GPa) | 50 |
| 열전도율(W/(m•K) | 1 |
| 열팽창계수(10-6～/K) | 7 ～ 8 |
| 주원료 | 알루미나 |
※이보다 큰 사이즈에 관해서도 상담 받습니다.