浮く、止める、運ぶ。
高精度多孔質セラミックス真空チャック エアロフィックス

太陽電池、LED、半導体、液晶、有機EL、プリント基板・・・極小・高精細技術の向上、高度化に伴い、より高精度で高性能な真空チャックへのニーズが高まっています。

ナノテムが開発したエアロフィックスは、独自のセラミックス焼結技術により、従来のスルーホールタイプ真空チャックの課題を解決する、まったく新しい真空チャックです!

ナノテムの得意分野

  • 半導体、フラットパネルディスプレイ(FPD)、プリント基板業界の各種基板吸着用真空チャックの製造販売
  • 青色・白色LED用サファイア基板の研削、研磨、ダイシング加工とその消耗品販売
  • セラミックスを始めとした各種硬脆性材料の研削、研磨、ダイシング加工

TECHNOLOGY

INFORMATION

各種製品・技術紹介 動画

ワーク反り矯正(1)
ワーク反り矯正(2)
非接触吸着
浮上搬送(吸盤タイプ)
完全非接触浮上搬送
サクションロールによるフィルム浮上
フィルム剥離(A!Peel)
フィルム剥離(A!Peel)2
フィルム吸着
ナノテム紹介動画
浮上除電
吸着除電
従来型との比較
Φ21ワークの浮上乖離
Coverlay装置
Coveray装置2
Coveray装置3
Coveray装置4
多孔質ダイヤモンド砥石
エアロフィックス展示物