浮く、止める、運ぶ。
高精度多孔質セラミック真空チャック エアロフィックス

<エアロフィックス>は、独自のセラミックス焼結技術から開発された真空チャックです。従来型のスルーホールタイプ真空チャックよりも機能的に優れ、太陽電池、LED、半導体、液晶、プリント基板などの開発・製造現場などさまざまな用途・場所で活用がされています。また、エアロフィックス内部の発塵がなく、使用環境に影響を与えずに製造することもできます。


私たちナノテムは、独自の「セラミックス焼結技術」で、お客様に求められるニーズを、先進の技術力、柔軟な独創力、高い実現力でお応えします。

ナノテムの得意分野

  • 半導体、フラットパネルディスプレイ(FPD)、プリント基板業界の各種基板吸着用真空チャックの製造販売
  • 青色・白色LED用サファイア基板の研削、研磨、ダイシング加工とその消耗品販売
  • セラミックスを始めとした各種硬脆性材料の研削、研磨、ダイシング加工

TECHNOLOGY

INFORMATION

各種製品・技術紹介 動画

浮上ユニットデモ品 長
多孔質セラミックス
静電気セットアップ
振動板3枚で保持0 17m/s
完全非接触浮上搬送
ロールフィルム浮上
フィルム剥離装置
フィルム剥離デモ1
フィルム吸着
ナノテム紹介動画
エアロ浮上除電
エアロ直接除電
エアロ
Φ21浮上剥離
SEHOCoveray装置
WooriENGCoveray装置2
WooriENGCoveray静電気
WooriENGCoveray静電気2
TheG紹介ビデオ
LINE MOVIE 1475030955956
aeroFIX chucking05
Nano TEM Digest