製品紹介 | エアロフィックス

エアロフィックス

浮く、止める、運ぶ。
高精度多孔質セラミックス真空チャック エアロフィックス

太陽電池、LED、半導体、液晶、有機EL、プリント基板・・・
極小・高精細技術の向上、高度化に伴い、より高精度で高性能な真空チャックへのニーズが高まっています。

ナノテムが開発したエアロフィックスは、独自のセラミックス焼結技術により、従来のスルーホールタイプ真空チャックの課題を解決する、まったく新しい真空チャックです!

エアロフィックス 6つのアドバンテージ

1

静電気防止材料として!

極薄基板等ワークの防汚課題を解決!

  • イオナイザー不要
  • 汚染課題を解決

静電気を帯電・放電せず除電するため「イオナイザー」などの追加設備も不要。精密製品ワークにも安心です。

2

部分吸着可能!

さまざまなワークサイズがこれ1台で!

  • コスト削減
  • 作業効率向上
  • ウェット環境OK

ウェット、ドライ環境、さまざまなワークサイズに対応。
ワークごとに形式やサイズを取り揃える必要がなく、コスト低減と作業効率向上を実現します。

3

ワークの汚染リスクを低減!

非接触浮上搬送を実現!

  • 作業効率向上
  • 汚染課題を解決

ワークは浮上ユニットで浮きあがるとともに、軽微な力で吸着盤上を自在に動かすことができます。
これは、正圧と負圧それぞれのエアーの供給と真空吸引をコントロールするナノテムの高度な技術です。

4

高性能・高精度な均一吸着力!

フィルムなど、デリケートな薄物ワークに最適!

  • コスト削減
  • 作業効率向上

アルミ、ステンレスなど従来型の真空チャックの課題、変形やたわみ・歪み・端部の反りを解消。
ミクロンオーダーの超微細気孔と独自の真空排気方式によりデリケートな薄物ワークにも安心です。

5

省スペースを実現!

サクションロール!

  • 作業効率向上
  • 省スペース化の実現

サクションロールでフィルム素材をサクションマーク(吸い込み跡)なしに吸着、高速搬送が可能。
どの部位でも固定が可能で、工場ラインの省スペース化を実現します。

6

既存装置に“ポン”と置くだけ!

簡便&コストダウン!

  • 簡単
  • コスト削減

据え置き型の「トッププレート」は、現在お使いの真空チャックの上にポンと置くだけで、性能・機能を発揮します。
締結の必要はありません。

エアロフィックスの特長と、具体的な活用例をビデオでご紹介します

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エアロフィックスとは?

ナノテムの独自技術が生んだ次世代の真空チャック

エアロフィックスは多孔質セラミックスでできた真空チャックです。
主剤と助剤の共晶反応コントロールによるナノテム独自のセラミックス焼結技術により従来にない2μmの気孔を均一に生成、気孔率40%、軽さと強度の両立を実現しました。
ドライ環境はもちろんウェット環境、150℃までの高温環境でも使用できます。

部分吸着を可能にした独自技術

エアロフィックスは吸着面の一部しかカバーしない精細部品などのワークにおいてもしっかり固定できる“部分吸着”を実現しました。
これはアルミナと混ぜ合わせるナノテム独自の材料レシピと焼却技術により作り出した2μmの気孔がなせるワザです。
もうワークによってチャックを交換する必要はありません。

精密ワーク品質を守る吸着性能

エアロフィックスは気孔径が微細で均一なため、ワークの変形が防止でき、ゴミ詰まりによる吸引力が落ちることもありません。
また、製造工程で完全焼結するため内部からの発塵がなく、使用環境に影響を与えず、静電気も除電します。

電子顕微鏡写真
電子顕微鏡写真
特性比較
特性比較

エアロフィックス ご提供製品

お客様のご要望に合わせてさまざまなサイズ・形状で製作が可能です。

・平面タイプ
・ロールタイプ
・G8サイズにも対応
・どんな形状もOK

【仕様】 黒2μmレギュラータイプ
気孔径(μm) 2
平面平行度(μm) 目標20、コミット30(□500mmの場合)
透過流量(L/min) 2以下(負圧測定時)
密度(g/cm3 2.5 ~ 2.7
表面抵抗(Ω/sq) 106 ~ 109
反射率(%) 5 ~ 6(オプション:3)
硬度(HRHスケール) 90
気孔率(%) 40
曲げ強度(MPa) 50
ヤング率(GPa) 50
熱伝導率(W/(m・K)) 1
熱膨張係数(10-6~/K) 7 ~ 8
主原料 アルミナ

※これ以上のサイズに関してもご相談承ります。