太陽電池、LED、半導体、液晶、有機EL、プリント基板･･･極小・高精細技術の向上、高度化に伴い、より高精度で高性能な真空チャックへのニーズが高まっています。

ナノテムが開発したエアロフィックスは、独自のセラミックス焼結技術により、従来のスルーホールタイプ真空チャックの課題を解決する、まったく新しい真空チャックです！