吸着プレート「多孔質セラミックス真空チャック」の紹介
その薄い材料はどの様にチャックしていますか。
研削加工の分野と「基板」と呼ばれる素材に対してものづくりする分野で使っていただけると思います。
どの業界も基板の薄肉化が進んでおります。従来の穴(溝)付チャックでの基板のたわみ問題を解決します。
A寸法 |
平面度 (μm/全面) |
価格 (万円) |
---|---|---|
□100 | 10 | 30 |
□200 | 10 | 45 |
□300 | 20 | 60 |
□400 | 30 | 80 |
□500 | 50 | 120 |
A寸法 |
平面度 (μm/全面) |
価格 (万円) |
---|---|---|
φ100 | 10 | 30 |
φ200 | 10 | 45 |
φ300 | 10 | 65 |
※都度お見積りとなります。詳細(平面度、B寸法、真空ポート位置、など)につきましては別途お打合せが必要となります。
従来型真空チャック | 多孔質セラミックス真空チャック |
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孔径(溝幅)が非吸着物の厚みより大きい | 表面気孔径が非吸着物の厚みより小さい |