ご購入製品お取り扱いについて
- 正圧の印加は0.05MPaが上限です。
破損の原因となります。0.05MPa以下でご使用ください。 - 衝撃的・局所的な外力を加えないでください。セラミックス製品ですので、割れなどの破損の原因となります。
- 使用温度は23±10℃としてください。基本的には23℃クリーンルームでの使用を想定しております。この温度範囲外では、変形・破損の恐れがございます。
- 急激な温度変化や局所的な温度変化を与えないでください。変形・破損の原因となります。
- 正圧の場合は急激に圧力を印加しないでください。破損・破裂の原因となります。正圧の印加速度は0.04MPa/s以下としてください。
- トッププレートタイプの場合は支点間距離を50mm以下としてください。たわみによる破損の原因となります。
また、支持点全体の平面度が50μmを越えないようにしてください。真空吸着をした際に変形し破損する原因となります。 - トッププレートタイプの場合は正圧を印加しないでください。プレートの飛び上りや破損の原因となります。
- 継手の取り付けやボルト締結の際は規定の締め付けトルクを超えないようにしてください。台座の変形・セラミックスの剥離・割れなどの破損の原因となります。